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<전공정 장비>
고순도 흑연
반도체 실리콘 잉곳을 생산하는 성장 장비용 부품
화학증착기상
서로 다른 가스의 화학 반응으로 형성된 입자들을 반도체 표면에 떨어뜨려 절연막이나 전도성 박막을 형성시키는 장비.
CVD는 PE-CVD(플라즈마 화학증착장비)와 LP-CVD(저압 화학증착장비)로 구분
원자증착기상
CVD에서 진보된 방식으로, 원자 정도의 두께로 박막을 형성하는 장비
가스 스크루버
반도체 공정은 수많은 화학 반응을 일으키는데, 이때 유해가스 발생을 조절해주는 장비
칠러
반도체 전공정에서 웨이퍼와 주변 온도를 일정하게 유지해 공정효율을 개선하는 장비로,
열 발생이 많은 식각 공정에 많이 사용
중앙약품 공급 시스템
반도체 전공정에 필요한 다양한 화학 소재를 공급하는 시스템
스트립
식각 공정이 끝난 후 감광액을 제거하는 장비
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